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日立掃描電鏡

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日立SU3800鎢燈絲掃描電鏡

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日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術,使其低電壓性能大大提升,同時升級的高靈敏度背散射探測器和可變壓力探測器使得SU3800的觀察能力進一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監控技術、全新的光鏡導航、集成的能譜以及報告導出等功能,使其操作也變得更為簡單。
主要特點:  
· HexBias偏壓鎢燈絲電子槍;  
· 優異的高、低電壓性能; 
· 高靈敏度五分割背散射電子探測器;  
· 可變壓力二次電子探測器(高、低真空可用);  
· 全新的操作界面和光鏡導航功能;  
· 全自動燈絲設定和合軸;  
· 報告導出和圖片處理;  
· 可集成的EDS;  
· 簡單方便的維護(燈絲更換視頻); 
應用領域: 材料科學、生命醫學、食品衛生、半導體電子元器件、汽車制造等。
主要參數:

電子槍 預對中鎢燈絲
加速電壓 0.3kV – 30kV
分辨率 3.0nm@30kV (SE)
15.0nm@1kV (SE)
4.0nm@30kV (BSE, LV)
放大倍率 5x – 300,000x(底片倍率)
7x – 800,000x(顯示器倍率)
探測器 二次電子探測器,高靈敏度無分割背散射電子探測器
可變壓力探測器UVD 2.0*
低真空可變壓力范圍 6 – 650Pa
樣品臺(三軸馬達) X: 0 - 100 mm
Y: 0 – 40 mm
Z: 5 – 65 mm
R: 0 – 360°
T: -20° - +90°
*選配
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